311158寶德適用于氣體質量流量控制器

311158寶德適用于氣體質量流量控制器必要時可以設置為 MFC 或者 MFM，且規(guī)定用于 büS 或者 CANopen 網絡中。büS 網絡技術以 CAN 物理層為基礎，Bürkert 特別為涉及多個控制回路（通過工業(yè)以太網或者其他現(xiàn)場總線加以驅動）的應用而對其進行了研發(fā)。型號為 ME2X 的系統(tǒng)控制單元 (SCU, System Control Unit) 將客戶的以太網通信傳輸到所有者的 büS 中，并驅動所有相連的電子設備。 設備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此，311158寶德適用于氣體質量流量控制器也可以集成到現(xiàn)有的 CANopen 基礎設施中。借助 MEMS 傳感器進行氣體質量流量的測量（用作 MFM）或者調節(jié)（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內極其快速地做出反應。此外，測量工作不受壓力或者溫度波動的影響。可以對 MFC/MFM 進行校準，使其用于測量/調節(jié)兩種不同的氣體，用戶可以在這兩種氣體之間進行切換。

主要特點：
采用 MEMS 技術直接測量流量
額定流量范圍從0.010 lN / min到160 lN / min
高精度和可重復性
響應時間非常快
現(xiàn)場總線通信基于 CANopen

工作原理：
主通道中的層流元件產生小的壓降，這通過旁路（傳感器管）驅動與主流成比例的小流量，兩個連接在測量橋上的加熱電阻受到不銹鋼管的影響。 在零流量狀態(tài)下，橋是平衡的，但是隨著流量的增加，熱量沿流動方向傳輸，橋變得不平衡。測量的動態(tài)受到作為熱障的管壁的限制。 通過在控制器中使用合適的軟件，可以獲得適用于各種應用的響應時間（在幾秒鐘的范圍內）。對于受污染的氣體，我們建議在上游安裝過濾器元件。 這樣可以避免主流量和傳感器管子之間的分配比率的變化，以及由傳感器管壁上的沉積物引起的傳熱變化。